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Semiconductor/반도체 이야기222

반도체 제조 공정, 세 번째 반도체 이야기 MOSFET 트랜지스터의 소스, 게이트, 그리고 드레인 영역이 만들어졌습니다. 이제 각각의 트랜지스터 배선과 인터커넥션을 하도록 하겠습니다. ▲ 반도체 공정 flow사진출처 : http://goo.gl/34yAgQ 초기에 알루미늄으로 배선과 인터커넥션을 하다가 칩의 집적도와 기능이 향상되면서 구리로 배선과 인터커넥션을 바꾸었습니다. 또한, 근접한 배선들 사이의 상호간섭을 줄이기 위해 유전상수가 낮은 유전재료를 사용하게 되었습니다. 이들 배선 및 유전층은 박막(薄膜, thin film) 형태로 제조되며, 성막(成幕, deposition) 공정과 평탄화(平坦化, CMP) 공정이 주요 공정으로 사용되고 있습니다.박막은 여러 가지 방법으로 제조할 수 있습니다. 그중에서 반도체 공정에 많이 쓰이는 PVD(Pysi.. 2015. 12. 16.
Ceramic Dual-Inline Package (CDIP / CerDIP) Ceramic Dual-Inline Package (CDIP / CerDIP) 앰코는 오래전에 도입된 이 패키지에 대해 지속적인 서비스를 제공하고 있습니다. 이 CDIP은 리드 수나 패키지 크기에 있어서 다양한 선택사항을 제공합니다. CDIP은 건조 압착공법 세라믹과 그것을 둘러싸고 있는 DIP 형태의 리드프레임으로 구성되어 있습니다. 세라믹/리드프레임/세라믹 구조는 400~600°C 사이에서 리플로우되면서 용융된 유리재료에 의해 상호결합되어 습기방지(hermetic) 구조가 형성됩니다. ▲ Ceramic Dual-Inline Package (CDIP / CerDIP) Application 다른 패키지들과 마찬가지로 CDIP은 그 신뢰성이 높고 디지털에서 아날로그로의 전환기기, EPROMS, 에어백 센서.. 2015. 11. 27.
반도체 제조 공정, 두 번째 반도체 이야기 (지난 호에서 이어집니다) 포토리소그래피(photolithography)는 옵티컬 리소크래피(optical lithography) 또는 UV 리소크래피라고도 불리며 반도체 공정에서 박막(薄膜)이나 기판(基板)의 선택된 부분을 패터닝(patterning)하는데 사용합니다. 사전에 원하는 패턴이 형성되어 있는 포토마스크(photomask)에 빛을 쏴서 그 밑에 있는 웨이퍼 위에 그림자가 생기게 하고(이 과정을 노광이라고 부릅니다), 그 그림자 패턴은 빛이 사라지면 사라지므로 웨이퍼 상에 그림자 패턴이 남아있도록 하는 방법이 필요합니다. 웨이퍼 상에 감광성(感光性) 재료(포토레지스트 또는 레지스트라고 부릅니다. 빛을 받은 부분이 잘 녹아나는 성질로 변하는 레지스트를 포지티브 레지스트라고 부르고, 잘 녹아나는 .. 2015. 11. 25.
Ceramic Ball Grid Array (CBGA / BGA) Ceramic Ball Grid Array (CBGA / BGA) 앰코의 CBGA는 가장 뛰어난 어셈블리 프로세스와 디자인 기법을 통합함으로써 현재뿐만 아니라 미래의 가격/성능이 중시되는 응용기기에 적합한 패키지입니다. 이 선진 IC 패키지 기술을 통해 응용/디자인 엔지니어들은 혁신적 생각을 최적화하고 칩(Si & GaAs)의 성능을 극대화합니다. 앰코의 CBGA는 낮은 인덕턴스, 개선된 열적 성능, 한층 강화된 표면실장성을 목표로 디자인되어 있습니다. 그라운드/파워 층과 같은 특정 성능 개선책도 마련되어 있어 고성능 전자분야에서 요구하는 전기적 성능을 만족시킵니다. 또한 CBGA는 장기(長期) 동작에서도 고신뢰성을 확보하기 위해 산업계에서 이미 검증된 반도체 제조에 적합한 물질들을 사용하고 있고, 사용.. 2015. 11. 20.
반도체 제조 공정, 첫 번째 반도체 이야기 지난 열 달 동안 반도체의 물리적 이론과 소자의 이해 및 최종 제품에 대해서 살펴보았는데요, 이제 이 제품들이 제조라인에서 어떻게 만들어지는지에 대해 살펴보도록 하겠습니다. 하나의 반도체 제품이 탄생하기까지는 수많은 과정을 거쳐야 합니다. 여기에서는 설계 등은 고려하지 않고 공정에 대해서만 살펴보고자 합니다. 공정은 크게, 웨이퍼 제조 공정, 소자(디바이스) 제조 공정, 그리고 마지막으로 우리 회사가 가장 잘하는 패키징 및 테스트 공정으로 나눌 수 있습니다. 이 중에 웨이퍼 제조 공정은 이전 호에서 다루었으므로 소자 제조 공정과 패키징 및 테스트 공정에 대해서 다루겠습니다. 반도체 소자도 여러 가지가 있지만, 가장 많이 생산되고 있는 MOSFET 소자의 공정에 대해 살펴보겠습니다. 소자 제조 공정은 다시.. 2015. 11. 18.
Thin Shrink Small Outline Package (TSSOP) Thin Shrink Small Outline Package (TSSOP) ‘더 작게, 더 많은 입출력, 더 빠르게, 더 가볍게’라는 기치 아래 탄생한 앰코의 TSSOP는 SOP의 리드 피치를 줄이는 것뿐만 아니라 0.9mm에 이르는 얇은 두께의 패키지 생산을 가능하게 했습니다. 앰코는 부단한 연구를 통하여 진보된 설계, 어셈블리 장비/프로세스/재료에서도 품질과 신뢰성을 확보하였습니다. 결과적으로, 패키지의 편평도(flatness)를 유지하고 와이어 스윕(wire sweep), 솔더 부착성(solderability), 딜레미네이션(delimination)을 해결할 수 있었습니다. 앰코는 IC 디자이너, 패키지 엔지니어, 회로 설계자, 부품 전문가들과 긴밀한 공조를 통해 TSSOP 생산라인에서 성공적인 성.. 2015. 11. 13.

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