적층성장 (epitaxy)

어떤 물질이 다른 단결정 물질의 표면 위에 얇은 막으로 쌓여 달라붙는 현상.

이 과정은 두 물질 사이의 화학반응에 의해 생기는 것이 아니고 적층성장층의 결정구조는 이 층을 만드는 단결정 표면의 결정구조에 의해서 조절된다. 고속 트랜지스터와 집적회로 같은 몇몇 고체상 전자장치는 전기전도도가 다른 반도체 웨이퍼 위에 다른 반도체의 적층성장층을 형성시켜 만든다(→ 색인 : 반도체 소자, 화학증착). 적층성장층을 만드는 기술 가운데 하나는 반도체 단결정(보통 규소나 게르마늄)의 깨끗한 표면을 한 종의 반도체 성분과 도펀트나 도핑원소(주로 갈륨 또는 비소)를 혼합해 증기로 만든 다음 이 증기에 노출시키는 것이다. 증기는 표면 위에서 응축된 다음 분해되어 규칙적인 결정층을 만든다. 이 표면에는 주성분 원소들로 이루어진 원자격자에 있는 약간의 자리에 도펀트 원자들이 채워지게 된다.

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Posted by  Mr.반