MEMS/Sensor

[반도체 사전] MEMS/Sensor

마이크로전자기계 시스템(MEMS)은 물리적인 값(압력, 습도, 가속도 등)을 감지하거나 기계적으로 구동하는 Micro 사이즈의 초소형 정밀기계를 의미합니다. MEMS는 반도체소자공정기술을 기반으로 제작하며, 2~3차원의 기계적인 시스템을 제작할 수 있습니다. Fab 공정을 사용하므로 MEMS는 주로 실리콘 웨이퍼를 사용하지만, 다른 기판을 이용해 제작할 수도 있습니다. 사이즈가 매우 작아 단일 웨이퍼 1장당 수만 개 die를 제작할 수 있습니다.

MEMS Application

Amkor Technology는 MEMS PKG 기술의 세계 선두주자이며, MEMS(Micro Electronic Mechanical System)와 MOEMS(Micro Optical Electronic Mechanical System)의 가장 큰 outsource 업체입니다. 다양한 sensor에 적용하고 consumer, automotive 등 많은 분야에서 널리 응용됩니다.

MEMS Packaging Considerations

General Requirements

• MEMS 구조가 받는 stress의 조절이 가능해야 합니다.
• MEMS 구조에 외부신호가 손실 없이 전달되어야 합니다.
• MEMS와 ASIC 소자를 외부 충격으로부터 보호해야 합니다.

Automotive Market

• 높은 수준의 신뢰성이 필요합니다.
• MEMS sensor 종류에 따른 맞춤 사양이 필요합니다.

Consumer Market

• 빠른 개발 시간이 필요합니다.
• 재활용이 가능한 PKG의 특성을 보입니다.
• MEMS PKG의 소형화가 지속해서 이루어져야 합니다.

▶ 앰코코리아 홈페이지에서 자세한 정보 보기

---

WRITTEN BY 미스터반

안녕하세요. 'Mr.반'입니다. 반도체 정보와 따끈한 문화소식을 전해드리는 '앰코인스토리'의 마스코트랍니다. 반도체 패키징과 테스트가 저의 주 전공분야이고 취미는 요리, 음악감상, 여행, 영화감상입니다. 일본, 중국, 필리핀, 대만, 말레이시아 등지에 아지트가 있어 자주 출장을 떠나는데요. 앞으로 세계 각 지역의 현지 문화 소식도 종종 전해드리겠습니다.

---